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Vergleich von 4 Klassen von Anlagenschnittstellen
Wählen Sie die Anlagenschnittstelle, die am besten zu den Angaben des Kunden passt. Das Tool zeigt Prüfschwerpunkte dieser Seite; es stuft das Bauteil nicht ein und legt keine Abnahmegrenzen fest.
Schnittstellenkontext auswählen
4 dargestellte Varianten
Nutzen Sie die Auswahl, um Fragen zur technischen Zeichnung und zur Anlagenspezifikation zu ordnen.
Prozessbereich, Vakuum oder direkter Sichtkontakt zum Wafer
An dieser Stelle müssen zahlreiche kundenseitig festgelegte Anforderungen übertragen werden, da Grenzwerte für Werkstoff, Oberfläche, Rückstände, Partikel, Ausgasung und Verpackung die Prozessumgebung beeinflussen können.
Vom Kunden vorgegebene Prüfschwerpunkte
- Anwendbares Verfahren und zugehöriger Grenzwert
- Verantwortliche Stelle für jede Anforderung
- Angaben zu Werkstoff, Oberfläche, Rückständen, Partikeln und Ausgasung
- Verpackungsgrenzwerte gemäß Anlagenspezifikation
- Der Angebotsanfrage beifügen
- Die betreffende Schnittstelle, das Verfahren, den Grenzwert und die maßgebliche Anforderung der Anlagenspezifikation.
Versorgung
Anschlüsse für Flüssigkeiten, Gase, Kühlung, Elektrik oder Wartung werden anhand der Schnittstellenangaben geprüft, die mit der technischen Zeichnung und der Anlagenspezifikation bereitgestellt werden.
Vom Kunden vorgegebene Prüfschwerpunkte
- Angaben zur Medienverträglichkeit
- Dichtungsgeometrie
- Vom Kunden vorgegebener Reinigungszustand
- Druck- oder Prüfanforderungen
- Handhabung geschützter Anschlussöffnungen
- Der Angebotsanfrage beifügen
- Medien, Dichtungsgeometrie, etwaige Prüfanforderungen, Schutzbedarf der Anschlussöffnungen und die maßgebliche Spezifikation.
Tragstruktur
Bei Rahmen, Grundgestellen, Halterungen und Abstützungen rücken die vom Kunden beschriebenen Montage- und Transportbedingungen in den Mittelpunkt der Prüfung.
Vom Kunden vorgegebene Prüfschwerpunkte
- Bezüge und Ausrichtung
- Kraftfluss und Kontaktflächen
- Ebenheit und Lochbilder
- Schutz beim Heben und Transport
- Maßnahmen zur Kontaminationsvermeidung, sofern die Anlagenspezifikation sie verlangt
- Der Angebotsanfrage beifügen
- Bezüge, Montagebeziehungen, Angaben zum Kraftfluss, Kontaktflächen und erforderlicher Transportschutz.
Außenbereich
Abdeckungen, Schutzbleche, Griffe und außenliegende Halterungen werden anhand ihrer angegebenen Funktion an der Anlage sowie der Anforderungen an ihr Erscheinungsbild oder ihre Handhabung geprüft.
Vom Kunden vorgegebene Prüfschwerpunkte
- Anforderungen an sichtbare Oberflächen oder die Handhabung
- Befestigungs- und Zugangsmerkmale
- Schutz bei Handhabung und Transport
- Etwaige vom Kunden vorgegebene Anforderungen an die Oberflächenbeschaffenheit oder Kennzeichnung
- Der Angebotsanfrage beifügen
- Die Funktion des Bauteils, Anforderungen an sichtbare Oberflächen, Angaben zu Befestigung und Zugang sowie Anforderungen an Handhabung oder Verpackung.
