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Comparaison de quatre catégories d’interfaces d’équipement
Choisissez l’interface d’équipement correspondant le mieux au contexte fourni par l’acheteur. L’outil présente les points à examiner sur la page ; il ne classe pas la pièce et ne fixe pas les limites d’acceptation.
Choisissez le contexte de l’interface
Quatre gammes de fabrication présentées
Utilisez votre sélection pour organiser les questions relatives au plan et à la spécification de l’équipement.
Procédé, vide ou vue directe sur les wafers
Cet emplacement impose de transmettre de nombreuses exigences, car les limites définies par l’acheteur concernant les matériaux, les surfaces, les résidus, les particules, le dégazage et l’emballage peuvent avoir une incidence sur l’environnement du procédé.
Points de contrôle définis par l’acheteur
- Méthode et seuil applicables
- Responsable de chaque exigence
- Contexte relatif aux matériaux, aux surfaces, aux résidus, aux particules et au dégazage
- Limites d’emballage liées à la spécification de l’équipement
- À conserver avec la demande de devis
- L’interface concernée, la méthode, le seuil et l’exigence applicable de l’équipement.
Raccordements de service
Les raccordements de fluides, de gaz, de refroidissement, d’électricité ou de service sont examinés à partir des informations sur l’interface fournies avec le plan et la spécification de l’équipement.
Points de contrôle définis par l’acheteur
- Contexte de compatibilité avec les milieux utilisés
- Géométrie d’étanchéité
- État de propreté défini par l’acheteur
- Exigences de pression ou d’essai
- Protection des orifices lors de la manutention
- À conserver avec la demande de devis
- Les milieux utilisés, la géométrie d’étanchéité, toute exigence d’essai, les besoins de protection des orifices et la spécification applicable.
Structure
Pour les châssis, les bases, les supports de fixation et les appuis, l’examen porte davantage sur le contexte d’assemblage et de transport décrit par l’acheteur.
Points de contrôle définis par l’acheteur
- Références spécifiées et alignement
- Cheminement des efforts et faces de contact
- Planéité et disposition des trous
- Protection lors du levage et du transport
- Mesures de maîtrise de la contamination lorsque la spécification de l’équipement les exige
- À conserver avec la demande de devis
- Les références spécifiées, les rapports entre les éléments de l’assemblage, le cheminement des efforts, les faces de contact et les besoins de protection pendant le transport.
Extérieur
Les capots, les écrans de protection, les poignées et les équerres extérieures sont examinés selon la fonction qui leur est attribuée dans l’équipement et les exigences relatives à leur aspect visible ou à leur manutention.
Points de contrôle définis par l’acheteur
- Exigences relatives aux faces visibles ou à la manutention
- Éléments géométriques de fixation et d’accès
- Protection pendant la manutention et le transport
- Toute exigence de finition ou de marquage définie par l’acheteur
- À conserver avec la demande de devis
- La fonction de la pièce, les exigences relatives aux faces visibles, les informations de fixation et d’accès, ainsi que les besoins de manutention ou d’emballage.
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